Свойства некоторых хлоридов и оксохлоридов кремния

Соединение	Тпл, °С	Ткип, °С	Плотность, г/см3	nD20
SiCl4	-70	57,5	1,481 (20 °С)	1,4130
SiHCl3	-128,2	31,5	1,3417 (20 °С)	1,4020
SiH2Cl2	-122	8,3	1,42 (-122 °С)
SiH3Cl	-118,1	-30,4	1,145 (-113 °С)
Si2Cl6	-1	144,5	1,5624 (15 °С)	1,4701
Si3Cl8	-67	215	1,61 (15 °С)	1,5135 (14,5 °С)
Si2OCl6	-35	137
Si3O2Cl8	-47	184		1,4585
Si4O4Cl8	77	202

^× Источник: Химическая энциклопедия. Под ред. И.Л. Кнунянца. Т. 2. -М.: Советская энциклопедия., 1990. С. 1032.